RUSSIAN

Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем

By Смирнов С.В.

Book information

Publisher
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Year
2010
Language
russian
Format
PDF
Filesize
2 MB (2602851 bytes)
Pages
115\115
Time added
2017-04-20 00:00:00
Инженерно-технические науки;Электроника и радиотех

Description

Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».

Similar books