RUSSIAN

Вакуумное ионно-плазменное нанесение наноструктурных покрытий

By Пашенцев В.

Book information

Language
russian
Format
PDF
Filesize
486 kB (497479 bytes)
Pages
\3
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Специальные дисциплины;Наноматериалы и нанотехноло

Description

Статья. Опубликована в журнале Наноиндустрия №5, 2010, с.26-28. Наноструктурные защитные покрытия, осаждаемые на поверхности узлов и механизмов, значительно увеличивают ресурс их работы. По этой причине разработка технологического оборудования для нанесения таких покрытий представляется актуальной задачей. В работе рассмотрены ионно-плазменныеметоды: магнетронное распыление, вакуумно-дуговое и термическое испарение.

Similar books