RUSSIAN

Силициды для СБИС

By Мьюрарка Ш.

Book information

Language
russian
Format
DJVU
Filesize
5 MB (4950266 bytes)
Pages
\89
Library
twirpx
Time added
2017-08-07 07:01:42
Приборостроение;Твердотельная электроника

Description

М.: Мир, 1986.- 176с.В книге известного американского специалиста в области технологии микроэлектроники рассмотрены и обобщены результаты исследований электрических, термодинамических и механических свойств силицидов - соединений кремния с переходными металлами. Описываются методы использования силицидов в технологии при создании полупроводниковых электронных приборов. В книге содержится большой объем тщательно систематизированного экспериментального материала.Для широкого круга специалистов в области полупроводниковой техники и материаловедения, а также студентов и аспирантов.

Similar books