GERMAN

Mikrosystemtechnik: Prozessschritte, Technologien, Anwendungen

By Ulrich Hilleringmann (auth.)

Book information

Publisher
Vieweg+Teubner Verlag
Year
2006
ISBN
978-3-8351-0003-9, 978-3-8351-9022-1
DOI
10.1007/978-3-8351-9022-1
Language
german
Format
PDF
Filesize
10 MB (10192317 bytes)
Edition
1
Pages
274\280
Time added
2014-04-13 05:00:00
Control Engineering

Description

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

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