RUSSIAN

Процессы микро- и нанотехнологий: метод. пособие к курсу лекций

By Гадиев Р.М.

Book information

Publisher
Башкирский государственный педагогический университет им.М. Акмуллы
Year
2012
Language
russian
Format
PDF
Filesize
2 MB (1897093 bytes)
Pages
50\50
Time added
2017-04-20 00:00:00
Нанотехнологии

Description

Данное учебное пособие предназначено для студентов физико-математического факультета, направлений подготовки: 210600 Нанотехнология; 210100 Электроника и наноэлектроника. Рекомендуется в качестве дополнительного материала к курсу лекций по дисциплине Процессы микро и нанотехнологий. Изучение данной дисциплины направлено на ознакомление с кругом актуальных задач современной электроники. В издании рассматриваются основные методы формирования топологии элементов микроэлектроники и нанесения металлических контактов

Similar books