RUSSIAN

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии

By Иванов В. И. , Сигов А. С. , Лучников П. А. , Суржиков А. П. ; Под ред. Сигова А.С.

Book information

Year
2020
Language
russian
Format
PDF
Filesize
19 MB (20115451 bytes)
Pages
\270
Time added
2021-11-20 16:12:37

Description

В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) — электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.

Similar books